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東方證券:先進(jìn)制程驅(qū)動(dòng)光刻膠產(chǎn)品升級 重點(diǎn)關(guān)注ArF膠導(dǎo)入節(jié)奏
2026-04-07 16:38:38
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文章提及標(biāo)的
東方證券--
半導(dǎo)體--
光刻膠--
半導(dǎo)體材料--
周期--
彤程新材--

東方證券(HK3958)發(fā)布研報(bào)稱,根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù),2028年境內(nèi)半導(dǎo)體(881121)光刻膠(885864)市場規(guī)模將達(dá)150.3億元,同時(shí)在高端市場JSR、TOK、信越化學(xué)等日巨頭份額較高。隨制程從成熟向先進(jìn)迭代,疊加多重曝光技術(shù)使A膠用量提升。據(jù)TECHCET統(tǒng)計(jì),目前ArF光刻膠(885864)(含浸沒式)在全球半導(dǎo)體(881121)光刻膠(885864)市場中的價(jià)值占比接近50%。從國產(chǎn)化率來看,國內(nèi)G線/I線光刻膠(885864)已實(shí)現(xiàn)較高自給率,KrF處于導(dǎo)入期,而ArF光刻膠(885864)國產(chǎn)化率極低。

東方證券(HK3958)主要觀點(diǎn)如下:

光刻膠是半導(dǎo)體材料中壁壘較高環(huán)節(jié),導(dǎo)入晶圓廠驗(yàn)證周期長

光刻膠(885864)用在晶圓光刻環(huán)節(jié),是把電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上的關(guān)鍵感光材料。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù),2028年境內(nèi)半導(dǎo)體(881121)光刻膠(885864)市場規(guī)模將達(dá)150.3億元,同時(shí)在高端市場JSR、TOK、信越化學(xué)等日巨頭份額較高。其研發(fā)難點(diǎn)在于高分子精準(zhǔn)聚合與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),必須同時(shí)滿足高分辨率、高感度、高刻蝕抗性與低缺陷。由于光刻膠(885864)性能和品質(zhì)與芯片良率和可靠性密切相關(guān),晶圓廠對其導(dǎo)入謹(jǐn)慎。

從導(dǎo)入節(jié)奏來看,一款光刻膠(885864)在晶圓廠的驗(yàn)證通常需要經(jīng)歷嚴(yán)格的四大流程:PRS(光刻膠(885864)性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗(yàn)證)及Release(通過驗(yàn)證),驗(yàn)證周期(883436)較長。

先進(jìn)制程驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品升級,重點(diǎn)關(guān)注ArF膠導(dǎo)入節(jié)奏

按照曝光波長的不同,光刻膠(885864)主要分為G線(436nm)、I線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)和EUV(13.5nm)光刻膠(885864)。隨制程從成熟向先進(jìn)迭代,疊加多重曝光技術(shù)使A膠用量提升。據(jù)TECHCET統(tǒng)計(jì),目前ArF光刻膠(885864)(含浸沒式)在全球半導(dǎo)體(881121)光刻膠(885864)市場中的價(jià)值占比接近50%。從國產(chǎn)化率來看,國內(nèi)G線/I線光刻膠(885864)已實(shí)現(xiàn)較高自給率,KrF處于導(dǎo)入期,而ArF光刻膠(885864)國產(chǎn)化率極低。

從進(jìn)度來看,鼎龍股份(300054)ArF、KrF光刻膠(885864)已有3款產(chǎn)品進(jìn)入穩(wěn)定批量供應(yīng)階段,超12款進(jìn)入加侖樣測試階段,其二期年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠(885864)量產(chǎn)線已建成;彤程新材(603650)ArF光刻膠(885864)、KrF光刻膠(885864)等已陸續(xù)通過國內(nèi)多家客戶驗(yàn)證,并開始逐步實(shí)現(xiàn)切線上量;上海新陽(300236)已建成包括I線、KrF、ArF干法、ArF浸沒式各類光刻膠(885864)在內(nèi)的完整研發(fā)合成、配制生產(chǎn)、質(zhì)量管控、分析測試平臺(tái),其中ArF浸沒式光刻膠(885864)已有銷售訂單。

樹脂決定核心性能,上游材料自主可控較為急迫

光刻膠(885864)屬于配方型化學(xué)品,其主要成分包括成膜樹脂、光引發(fā)劑、溶劑及添加劑。其中成膜樹脂的質(zhì)量占比最高,決定光刻膠(885864)的分辨率、耐刻蝕性及附著力等底層物理化學(xué)性能。目前KrF/ArF光刻膠(885864)核心材料樹脂、單體、光致產(chǎn)酸劑以及淬滅劑等的供應(yīng)商里日企較多。若上游樹脂斷供,下游光刻膠(885864)配方廠將面臨生產(chǎn)困難,因此樹脂材料自主可控重要性不亞于光刻膠(885864)成品。

目前國內(nèi)企業(yè)正加速向產(chǎn)業(yè)鏈上游迭代,其中圣泉集團(tuán)(605589)G線/I線光刻膠(885864)用酚醛樹脂已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),KrF光刻膠(885864)用PHS樹脂等產(chǎn)品處于市場導(dǎo)入階段;八億時(shí)空(688181)百噸級半導(dǎo)體(881121)KrF光刻膠(885864)樹脂高自動(dòng)化柔性/量產(chǎn)雙產(chǎn)線順利建成并已開始量產(chǎn);彤程新材(603650)部分光刻膠(885864)產(chǎn)品已成功使用自研樹脂并實(shí)現(xiàn)商用。

標(biāo)的方面

光刻膠(885864)在客戶端導(dǎo)入節(jié)奏較快的相關(guān)標(biāo)的為:鼎龍股份(300054)(300054.SZ)、彤程新材(603650)(603650.SH)、上海新陽(300236)(300236.SZ)、恒坤新材(688727)(688727.SH)、南大光電(300346)(300346.SZ)、華懋科技(603306)(603306.SH)、晶瑞電材(300655)(300655.SZ)、雅克科技(002409)(002409.SZ)、艾森股份(688720)(688720.SH)。

風(fēng)險(xiǎn)提示

市場需求不及預(yù)期,行業(yè)競爭加劇,研發(fā)進(jìn)度不及預(yù)期。

免責(zé)聲明:風(fēng)險(xiǎn)提示:本文內(nèi)容僅供參考,不代表同花順觀點(diǎn)。同花順各類信息服務(wù)基于人工智能算法,如有出入請以證監(jiān)會(huì)指定上市公司信息披露平臺(tái)為準(zhǔn)。如有投資者據(jù)此操作,風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān),同花順對此不承擔(dān)任何責(zé)任。
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