21世紀(jì)經(jīng)濟報道記者吳佳楠深圳報道
1月28日，恒運昌（688785）真空技術(shù)股份有限公司(“N恒運昌（688785）”，688785.SH)在科創(chuàng)板成功上市。
這是2026年第一家科創(chuàng)板IPO上市企業(yè)，拿下深圳市2026年境內(nèi)上市企業(yè)“開門紅”，也是深圳寶安區(qū)2026年寶首家上市企業(yè)。
恒運昌（688785）發(fā)行價為92.18元/股，發(fā)行市盈率為48.39倍，開盤價為310元/股，漲幅達(dá)236%，盤中其股價最高上漲323%至390元/股，截至發(fā)稿，市值為232億元。
公司成立于2013年3月，是國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)龍頭（883917）企業(yè)、國內(nèi)極少數(shù)實現(xiàn)半導(dǎo)體（881121）級等離子體射頻電源系統(tǒng)量產(chǎn)的企業(yè)。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計，恒運昌（688785）在國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中的市場份額位列第一。
恒運昌（688785）表示，公司本次募集資金將投資于沈陽半導(dǎo)體（881121）射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目、半導(dǎo)體（881121）與真空裝備核心零部件智能生產(chǎn)運營基地項目、研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項目、營銷及技術(shù)支持中心項目、補充流動資金。多款產(chǎn)品已量產(chǎn)交付
如果把芯片制造比喻成版畫藝術(shù)品的高科技復(fù)刻，那么產(chǎn)生及控制等離子體的等離子體射頻電源系統(tǒng)就是這場高科技復(fù)刻的“指揮家”。
等離子體射頻電源系統(tǒng)通過精確控制電流頻率和功率，指揮著半導(dǎo)體（881121）制造過程中的等離子體變化，確保在晶圓表面精確、均勻地沉積出薄膜層、精細(xì)地刻蝕出復(fù)雜圖形和去除光刻膠（885864）等。
等離子體射頻電源系統(tǒng)在納米的尺寸級別上精準(zhǔn)控制等離子體的刻蝕過程，這樣先進制程的高精度要求，使得制造過程中的每一步都如同在刀尖上跳舞，稍有不慎便可能導(dǎo)致整個芯片的報廢，從硅片的處理到薄膜的沉積、刻蝕，每一個環(huán)節(jié)都需要極高的精度控制。
如此嚴(yán)苛的要求，使得等離子體射頻電源系統(tǒng)成為半導(dǎo)體設(shè)備（884229）零部件國產(chǎn)化最難關(guān)卡之一，技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期（883436）長、生產(chǎn)的“精確復(fù)制”要求極高，因而國產(chǎn)化率極低。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2024年中國大陸半導(dǎo)體（881121）領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產(chǎn)化率不足12%，屬于被“卡脖子”最嚴(yán)重的環(huán)節(jié)之一。
恒運昌（688785）聚焦于等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術(shù)攻關(guān)，歷經(jīng)十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，成功打破了美系兩大巨頭MKS和AE長達(dá)數(shù)十年在國內(nèi)的壟斷格局。公司自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品Bestda系列可支撐28納米制程，第三代產(chǎn)品Aspen系列可支撐7-14納米先進制程，達(dá)到國際先進水平，填補國內(nèi)空白。
持續(xù)加碼研發(fā)讓技術(shù)優(yōu)勢不斷鞏固。截至2024年底，公司研發(fā)人員占比超40%，2022至2024年研發(fā)投入連續(xù)增長，累計投入近1.14億元，占同期累計營收的11.11%，復(fù)合年增長率達(dá)60.19%。
目前，恒運昌（688785）已具備成熟的規(guī)模化量產(chǎn)能力，公司產(chǎn)品已實現(xiàn)量產(chǎn)交付拓荊科技（688072）、中微公司（688012）、北方華創(chuàng)（002371）、微導(dǎo)納米（688147）、盛美上海（688082）等國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備（884229）商，并配套中芯國際（HK0981）、長江存儲等國內(nèi)晶圓廠，在國內(nèi)半導(dǎo)體（881121）領(lǐng)域是首家出貨過億元和首家實現(xiàn)等離子體射頻電源系統(tǒng)(支持半導(dǎo)體（881121）先進制程)量產(chǎn)的國產(chǎn)廠商。
截至2025年6月底，恒運昌（688785）與上述客戶已實現(xiàn)百萬級收入的自研產(chǎn)品共38款，實現(xiàn)千萬級收入的自研產(chǎn)品共24款。
2022年至2025年6月底，該公司已穩(wěn)定批量供應(yīng)拓荊科技（688072）PECVD設(shè)備，是拓荊科技（688072）2024年度第一大等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商、前十大零部件供應(yīng)商，2024年拓荊科技（688072）已成為公司第一大客戶、銷售收入占比超六成，此外，拓荊科技（688072）還持有公司3.09%股份。恒運昌（688785）在2024年對中微公司（688012）、北方華創(chuàng)（002371）、微導(dǎo)納米（688147）已實現(xiàn)收入4288.56萬元、2813.65萬元、2306.19萬元，相比2023年分別翻7倍、25倍、3倍，同比大幅增長。
2025年上半年，該公司還進一步拓展新客戶，實現(xiàn)對屹唐股份（688729）、思銳智能、無錫邑文等細(xì)分領(lǐng)域頭部客戶的銷售收入突破。
2022至2024年，公司營收從1.58億元增加至5.41億元，凈利潤從2639萬元增長至1.43億元，實現(xiàn)規(guī)模與效益雙增長。
恒運昌（688785）表示，公司自研產(chǎn)品中的等離子體射頻電源系統(tǒng)收入金額持續(xù)增加，主要原因是伴隨中國大陸半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展以及半導(dǎo)體（881121）國產(chǎn)化浪潮，公司作為關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備（884229）的核心零部件供應(yīng)商，通過持續(xù)加大研發(fā)、加強與客戶合作，自研產(chǎn)品的營業(yè)收入大幅增加。同時，公司圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案，引進的真空泵等產(chǎn)品的收入也保持穩(wěn)定增長。核心團隊成員大多曾就職于AE
這家位于深圳的“隱形冠軍”，用十二年時間完成了從打破海外壟斷到引領(lǐng)國產(chǎn)替代的跨越，恰恰是中國半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)自主創(chuàng)新的縮影。
十二年前，國內(nèi)等離子體射頻電源系統(tǒng)市場被海外巨頭牢牢掌控，恒運昌（688785）創(chuàng)始人樂衛(wèi)平帶領(lǐng)團隊在狹小車間內(nèi)開啟攻關(guān)之路，如今已成長為手握108項授權(quán)發(fā)明專利、能批量交付14納米先進制程配套產(chǎn)品的行業(yè)標(biāo)桿。
半導(dǎo)體設(shè)備（884229）處于半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)鏈的上游環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)的基石，是提升中國半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性的關(guān)鍵。據(jù)SEMI統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導(dǎo)體設(shè)備（884229）市場規(guī)模達(dá)1171億美元，2012至2024年間增長了802億美元，年復(fù)合增長率達(dá)到10.10%，保持高速增長趨勢。SEMI預(yù)計，2025年將增長至1255億美元，2026年有望增長至1381億美元，持續(xù)刷新歷史新高。
目前全球半導(dǎo)體設(shè)備（884229）行業(yè)集中度高，由少數(shù)寡頭壟斷。具體來看，在薄膜沉積設(shè)備方面，全球市場基本由應(yīng)用材料（AMAT）(AMAT)、泛林集團(LAM)、東京電子(TEL)、先晶半導(dǎo)體（881121）(ASM)等少數(shù)設(shè)備商壟斷；在刻蝕設(shè)備方面，全球市場主要企業(yè)由泛林集團(LAM)、東京電子(TEL)和應(yīng)用材料（AMAT）(AMAT)等少數(shù)設(shè)備商壟斷。
“中國大陸有全球最大的半導(dǎo)體（881121）消費（883434）市場和半導(dǎo)體設(shè)備（884229）銷售市場，而半導(dǎo)體設(shè)備（884229）國產(chǎn)率較低，意味著中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備（884229）行業(yè)存在大量國產(chǎn)替代空間?！?span>恒運昌（688785）表示。
根據(jù)SEMI統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2020年中國大陸憑借187億美元銷售金額首次成為全球半導(dǎo)體設(shè)備（884229）第一大市場，并開始連續(xù)多年保持第一。2012至2024年，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備（884229）銷售額增長了471億美元，年復(fù)合增長率高達(dá)28.27%，遠(yuǎn)超同期全球增幅。
從等離子體射頻電源系統(tǒng)這一細(xì)分的半導(dǎo)體（881121）制造工藝看，等離子體射頻電源系統(tǒng)是中國半導(dǎo)體設(shè)備（884229）“卡脖子”的關(guān)鍵零部件之一，主要由美系兩大巨頭MKS和AE主導(dǎo)。
雖然中國大陸等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)的起步相對較晚，但近年來展現(xiàn)出了快速的發(fā)展勢頭。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計，未來中國大陸等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模將加速增長，2025-2029年復(fù)合增長率預(yù)計為12.3%。
華金證券研報顯示，等離子體射頻電源系統(tǒng)是我國半導(dǎo)體設(shè)備（884229）“卡脖子”的關(guān)鍵零部件之一，預(yù)期隨著國產(chǎn)化趨勢的加速推進，國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)發(fā)展前景廣闊。
據(jù)了解，恒運昌（688785）以實控人樂衛(wèi)平先生為首的核心團隊成員大多曾就職于AE等業(yè)內(nèi)龍頭廠商。例如研發(fā)總監(jiān)林偉群曾任AE(深圳)高級工程師、AE(上海)深圳分公司高級工程師，職工董事、軟件研發(fā)經(jīng)理姚志毅曾任AE(深圳)工程師、AE(上海)深圳分公司工程師。
“公司計劃通過本次發(fā)行上市，進一步加大資金投入和研發(fā)投入，繼續(xù)推動半導(dǎo)體設(shè)備（884229）核心零部件的國產(chǎn)化進程，助力提升我國半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的韌性和安全水平?！?span>恒運昌（688785）表示。
