1月28日，深圳市恒運昌（688785）真空技術(shù)股份有限公司(簡稱“恒運昌（688785）”；股票代碼：688785.SH)正式在上海證券交易所科創(chuàng)板掛牌上市。
作為國內(nèi)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)龍頭（883917）廠商，恒運昌（688785）本次發(fā)行價格確定為92.18元/股，發(fā)行數(shù)量1693.0559萬股，公開發(fā)行后總股本達6770.1688萬股。募集資金將重點投向產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)、研發(fā)中心升級、技術(shù)支持中心及補充流動資金，精準(zhǔn)卡位半導(dǎo)體（881121）行業(yè)增長紅利。
此次上市不僅標(biāo)志著公司進入資本賦能的新階段，更將為我國半導(dǎo)體設(shè)備（884229）制造行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入強勁動力。
等離子體射頻電源系統(tǒng)市場持續(xù)增長
作為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備（884229）核心零部件供應(yīng)商，恒運昌（688785）深耕的等離子體射頻電源系統(tǒng)，是半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)鏈中兼具技術(shù)深度與戰(zhàn)略價值的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。該產(chǎn)品被業(yè)內(nèi)視為半導(dǎo)體設(shè)備（884229）零部件國產(chǎn)化的“最難關(guān)卡”，技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期（883436）長。
在此背景下，恒運昌（688785）聚焦于等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術(shù)攻關(guān)，歷經(jīng)十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，成功打破了美系兩大巨頭MKS和AE長達數(shù)十年在國內(nèi)的壟斷格局。公司自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品Bestda系列可支撐28納米制程，第三代產(chǎn)品Aspen系列可支撐7—14納米先進制程，達到國際先進水平，填補國內(nèi)空白。同時，公司承擔(dān)了國家半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)再造和重大技術(shù)裝備攻關(guān)任務(wù)，先后承接3項國家級重大專項課題。
同時，恒運昌（688785）構(gòu)建了涵蓋信號采樣及處理、相位鎖定、同步控制等關(guān)鍵技術(shù)的自主體系，形成三大基石技術(shù)和八大產(chǎn)品化支撐技術(shù)，核心技術(shù)完全自主可控。最近三年恒運昌（688785）累計研發(fā)投入金額達1.14億元，占最近三年累計營業(yè)收入比例為11.11%，最近三年研發(fā)投入的復(fù)合增長率為60.19%。截至2025年6月30日，恒運昌（688785）累計獲得261項授權(quán)專利，其中發(fā)明專利108項，另有133項發(fā)明專利在申請中，同時承擔(dān)工信部、科技部三項國家級重大科研課題，技術(shù)實力獲國家層面認(rèn)可。
據(jù)悉，全球等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模超50億美元，中國大陸市場超百億規(guī)模，其中半導(dǎo)體（881121）是最大的下游應(yīng)用領(lǐng)域。全球半導(dǎo)體（881121）領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的市場穩(wěn)定發(fā)展，2024年中國大陸相關(guān)市場規(guī)模達到65.6億元，未來將繼續(xù)快速增長。等離子體射頻電源系統(tǒng)由國際頭部廠商壟斷，極少數(shù)國產(chǎn)廠商參與。
緊抓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化機遇
在國產(chǎn)化浪潮與自身技術(shù)優(yōu)勢的雙重驅(qū)動下，恒運昌（688785）已確立行業(yè)領(lǐng)先地位。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2024年公司在中國內(nèi)地半導(dǎo)體（881121）行業(yè)國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中市場份額位列第一，成為國產(chǎn)替代的核心力量。
客戶資源方面，恒運昌（688785）已與拓荊科技（688072）、中微公司（688012）、北方華創(chuàng)（002371）、微導(dǎo)納米（688147）、盛美上海（688082）等國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備（884229）商建立緊密的戰(zhàn)略合作關(guān)系，成為薄膜沉積、刻蝕等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的核心供應(yīng)商，客戶黏性極強。截至2025年6月30日，恒運昌（688785）與上述客戶已實現(xiàn)百萬級收入的自研產(chǎn)品共38款，實現(xiàn)千萬級收入的自研產(chǎn)品共24款。
技術(shù)優(yōu)勢與市場需求的共振，推動恒運昌（688785）業(yè)績實現(xiàn)爆發(fā)式增長。招股書顯示，2022年至2024年，公司營業(yè)收入從1.58億元增長至5.41億元；扣非歸母凈利潤從0.20億元增長至1.29億元，展現(xiàn)出強勁的成長潛力。
此次IPO恒運昌（688785）募投項目將聚焦產(chǎn)能擴張與技術(shù)攻堅，精準(zhǔn)卡位半導(dǎo)體（881121）行業(yè)增長紅利。恒運昌（688785）表示，募投項目的實施有利于公司擴大生產(chǎn)規(guī)模、加強研發(fā)投入、提升客戶支持服務(wù)能力和擴充資本實力，進一步鞏固公司在半導(dǎo)體（881121）級等離子體射頻電源系統(tǒng)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位，并繼續(xù)助力先進制程半導(dǎo)體設(shè)備（884229）關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化進程。
展望未來，恒運昌（688785）將抓住半導(dǎo)體（881121）產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的機遇，在國家政策的大力支持下，持續(xù)致力于先進制程半導(dǎo)體設(shè)備（884229）核心零部件的研發(fā)生產(chǎn)，并通過自主創(chuàng)新豐富產(chǎn)品種類、提高技術(shù)先進性水平，助力國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備（884229）關(guān)鍵零部件的全面自主可控。此外，恒運昌（688785）將加速國際化進程、參與整合全球優(yōu)質(zhì)企業(yè)和資源，成為半導(dǎo)體（881121）“卡脖子”解決方案的領(lǐng)軍企業(yè)，力爭在未來十年成為國際優(yōu)秀的圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案的平臺型公司。
